一、防火分區(qū)設計要點
電子潔凈廠房防火分區(qū)的劃分，應該滿足以下要求：1)對于甲、乙類潔凈廠房，最好設計為單層，且單層廠房防火分區(qū)的最大允許建筑面積宜為3000m2，而多層廠房宜為2000m2；2)對于丙、丁、戊類潔凈廠房，其防火分區(qū)的最大允許建筑面積應該滿足《建筑設計防火規(guī)范》中的有關要求；3)根據(jù)電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范的相關規(guī)定，對于耐火等級為一、二級的丙類電子工業(yè)潔凈廠房，如凈化空調(diào)回風氣流中安裝有靈敏度不低于0.01%obs/m的極早期煙霧探測裝置，則每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可根據(jù)具體的生產(chǎn)工藝要求來予以確定。
二、疏散方面設計要點
電子潔凈廠房的安全疏散設計主要涉及安全出口、疏散走道疏散樓梯等。在疏散距離設計上，考慮到電子潔凈廠房本身的特點，應在設計時充分考慮人員疏散的要求，全面分析疏散人流、疏散距離等因素，并經(jīng)過嚴格的模擬和計算，得出最佳疏散路線，同時對于安全出口及疏散通道的布置也要進行合理規(guī)劃，使生產(chǎn)地點與安全出口之間搭建起便捷、暢通的逃生路線，而不必經(jīng)過曲折的凈化路線。在《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》中，針對其工藝特點，疏散設計也提出了特別的要求。
三、電氣化方面設計要點
1)電源方面
潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)的用電負荷、照明負荷應由變電所專線供電。消防用電設備的供配電設計應按現(xiàn)行國家標準規(guī)定執(zhí)行。電源進線(不包括消防用電)應設置切斷裝置，并盡量設在潔凈區(qū)外便于管理的地點。潔凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷。穿線導管應采用不燃材料。潔凈區(qū)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設備與墻體接縫處應有可靠的密封措施。
2)報警系統(tǒng)
根據(jù)火災發(fā)生的不同危害類型，報警系統(tǒng)有火災報警系統(tǒng)和可燃有毒氣體報警系統(tǒng)之分。就火災報警系統(tǒng)而言，根據(jù)我國現(xiàn)行《潔凈廠房設計規(guī)范》的有關要求，潔凈廠房的機房、生產(chǎn)區(qū)站房等區(qū)域都必須安裝火災探測系統(tǒng)。潔凈室具有循環(huán)風量大、換氣頻率高等特點，通常設有下技術夾層、上技術夾層、生產(chǎn)層等多層空間，且上、下技術夾層和生產(chǎn)層相通，是空氣流通的重要通道，而下技術夾層中安設了很多輔助工藝設施及管道，工序復雜且彼此聯(lián)系密切，一旦發(fā)生火災，很容易導致煙氣擴散和污染，給潔凈室?guī)硎謬乐厣踔敛豢赡孓D的破壞。為此，應該在潔凈室回風井或下技術夾層中設置空氣采樣式極早期報警系統(tǒng)，利用空氣采樣，分析室內(nèi)空氣中的粒子濃度，同時與歷史濃度不斷進行對比，達到及時、靈敏的監(jiān)控效果。這樣的報警系統(tǒng)具有很高的靈敏度，可以在發(fā)生陰燃事故或火災發(fā)生的第一時間檢測出空氣粒子濃度的反常變化，并進行警報，使人員得以及時疏散，同時在火勢增大前將其控制和撲滅。
液晶生產(chǎn)與集成電路生產(chǎn)工藝中會用到一些可燃有毒的化學氣體，它們一般保存在潔凈室外的中間庫房之中，并按照所用氣體的性質來選擇和安設報警系統(tǒng)。這些氣體應該安放在特制氣瓶柜內(nèi)的不銹鋼氣瓶中，氣瓶柜應該安裝排風裝置和可燃有毒報警裝置，能夠實時監(jiān)測排風氣體濃度，一旦出現(xiàn)泄漏事故，可以智能化關閉氣瓶的出氣控制閥門，并自動噴射氮氣或氦氣來吹掃管道，清除其中的有毒可燃氣體。對于氣體的輸送管道，應該選用不銹鋼材質，通過自動軌道氬弧焊機進行焊接，管道必須進行壓力測試和檢漏測試，測試達標后方可使用。此外，在保存氣體的中間庫房中也要安裝可燃有毒報警裝置，當發(fā)現(xiàn)泄漏時，可以自動發(fā)出報警信號并開啟排風機予以通風處理。
3)應急照明系統(tǒng)。
應急照明也稱備用照明，制定一個實用、可靠的應急照明系統(tǒng)對于潔凈廠房的火場逃生極為重要，在應急照明系統(tǒng)的供電方案方面，可以采用一路市電加分散式自帶蓄電池電源的應急燈，且其照度應滿足所需場所或部位進行必要活動和操作的最低照度。
四、防排煙系統(tǒng)的設計要點
易燃、易爆區(qū)域的排風應與一般區(qū)域分開，單獨設置，并采用防爆型排風風機；為確保生產(chǎn)安全和員工安全，應設計事故排風系統(tǒng)，且應為該系統(tǒng)安裝自動和手動控制開關，手動控制開關應分別設在潔凈室及潔凈室外便于操作的地點；潔凈廠房的走廊應設置機械防排煙裝置，考慮到潔凈廠房內(nèi)管線較為密集，若增加一套防排煙管道會存在一定難度，因此潔凈室機械防排煙系統(tǒng)可與通風、凈化空調(diào)系統(tǒng)合用，但必須輔以可靠的防火安全措施；風管應選用不燃材料，并按照有關規(guī)范要求來設置防火閥。
在防煙分區(qū)的設置上，為避免煙氣大范圍擴散，通常將防煙分區(qū)面積控制在500m2以下。由于生產(chǎn)中會用到可燃有毒的特種氣體，當發(fā)生火災時，工藝設備內(nèi)往往有特氣殘留，因此需要讓工藝排風系統(tǒng)以不低于正常狀態(tài)下50%的排風量運行。為了確保工藝排風系統(tǒng)在火災發(fā)生時能夠可靠運作，應該取消排風管上的防火閥設置，盡可能避免其穿過防火墻。排風管應該選用不燃材質，對于以玻璃鋼制造的酸堿排風管道，要在風管中安裝自動噴水滅火噴頭；對于內(nèi)部可燃物濃度超過爆炸下限25%的溶劑排風管道，也要在內(nèi)部安裝自動噴水滅火噴頭。
五、滅火設備的合理選擇
潔凈室的生產(chǎn)層及上下技術加層均應設置室內(nèi)消火栓。消火栓的用水量不小于10 L/s，每支水槍的出水量應不小于5 L/s。對于潔凈室內(nèi)置有貴重儀器、設備的房間應安裝固定滅火裝置。當設置自動噴水滅火系統(tǒng)時，應采用預作用式自動噴水滅火系統(tǒng)，當設置氣體滅火系統(tǒng)時，不可使用會造成人員窒息或對保護對象造成二次破壞的滅火劑。
考慮到傳統(tǒng)的自動噴水滅火系統(tǒng)無論是開式系統(tǒng)還是閉式系統(tǒng)，都很難滿足潔凈廠房對于無塵無菌的要求，也不可避免的會造成水漬的二次污染。因此，高壓細水霧作為一種新型滅 火技術則具有很大的優(yōu)勢。高壓細水霧滅火系統(tǒng)是由高壓水通過特殊噴嘴產(chǎn)生的細水霧來滅火的自動消防給水系統(tǒng)，其具有一定的穿透性，用水量較少，不會產(chǎn)生二次污染，有利于保護貴重設備，更適于潔凈廠房的滅火需要。
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